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真空常用名詞術語

出處:   點擊:   分類首頁欄目   發(fā)布:2015-7-9 15:22:34
摘要:

1、真空的定義 2、真空度 3、真空度單位 4、托與帕的轉(zhuǎn)換 5、平均自由程
6、流量 7、流導 8、壓力或壓強 9、標準大氣壓 10、極限真空
11、抽氣速率 12、熱偶真空計 13、電離真空計 14、復合真空計 15、冷陰極電離計
16、電阻真空計 17、麥克勞真空計 18、B-A規(guī) 19、水環(huán)真空泵 20、往復真空泵
21、油封機械真空泵 22、羅茨真空泵 23、渦輪分子真空泵 24、油擴散真空泵 25、低溫真空泵
26、冷阱 27、氣鎮(zhèn)閥 28、真空冷凍干燥 29、真空蒸鍍 30、真空干燥

  1、真空的定義

  真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)

  2、真空度

  處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度,通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示真空度“差”的意思。

  3、真空度單位

  通常用托(Torr)為單位,近年國際上取用帕(Pa)作為單位。

  1托=1/760大氣壓=1毫米汞柱

  4、托與帕的轉(zhuǎn)換

  1托=133.322帕 或 1帕=7.5×10-3

  5、平均自由程

  作無規(guī)則熱運動的氣體粒子,相繼兩次碰撞所飛越的平均距離,用符號“λ”表示。

  6、流量

  單位時間流過任意截面的氣體量,符號用“Q”表示,單位為帕·升/秒(Pa·L/s)或托·升/秒(Torr·L/s)。

  7、流導

  表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒(L/s),在穩(wěn)定狀態(tài)下,管道流導等于管道流量除以管道兩端壓強差。符號記作“U”。   U=Q/(P2- P1)

  8、壓力或壓強

  氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力,用“P”表示。

  9、標準大氣壓

  壓強為每平方厘米101325達因的氣壓,符號:(Atm)。

  10、極限真空

  真空容器經(jīng)充分抽氣后,穩(wěn)定在某一真空度,此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經(jīng)12小時煉氣,再經(jīng)12小時抽真空,最后一個小時每隔10分鐘測量一次,取其10次的平均值為極限真空值。

  11、抽氣速率

  在一定的壓強和溫度下,單位時間內(nèi)由泵進氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率,簡稱抽速。即Sp=Q/(P-P0

  12、熱偶真空計

  利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關,元件的溫度又與氣體的熱傳導有關的原理來測量真空度的真空計。

  13、電離真空計(又收熱陰極電離計)

  由筒狀收集極,柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構成,筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子,離子被收集極收集,根據(jù)收集的離子流大小來測量氣體壓強的真空計。

  14、復合真空計

  由熱偶真空計與熱陰極電離真空計組成,測量范圍從大氣~10-5Pa。

  15、冷陰極電離計

  陽極筒的兩端有一對陰極板,在外加磁場作用,陽極筒內(nèi)形成潘寧放電產(chǎn)生離子,根據(jù)陰極板收集的離子流的大小來測定氣體壓強的真空計。

  16、電阻真空計

  利用加熱元件的電阻與溫度有關,元件的溫度又與氣體傳導有關的原理,通過電橋電路來測量真空度的真空計。

  17、麥克勞真空計(壓縮式真空計)

  將待測的氣體用汞(或油)壓縮到一極小體積,然后比較開管和閉管的液柱差,利用玻義爾定律直接算出氣體壓強的一種絕對真空計。

  18、B-A規(guī)

  這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規(guī)。收集極是一根細絲,放在柵網(wǎng)中心,燈絲放在柵網(wǎng)外面,因而減少軟X射線影響,延伸測量下限,可測超高真空。

  19、水環(huán)真空泵

  泵的葉輪轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生水環(huán)。由于轉(zhuǎn)子偏心旋轉(zhuǎn)而使水環(huán)與葉片間容積發(fā)生周期性改變而進行抽氣的機械真空泵。

  20、往復真空泵

  利用活塞的往復運動而進行抽氣的機械真空泵。

  21、油封機械真空泵

  用油來保持密封的機械真空泵,可分為定片式、旋片式、滑閥式、余擺線式等。

  22、羅茨真空泵

  具有一對同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的機械真空泵,此泵不可以單獨抽氣,前級需配油封、水環(huán)等可直排大氣的真空泵。

  23、渦輪分子真空泵

  有一高速旋轉(zhuǎn)的葉輪,當氣體分子與高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片相碰撞時就被驅(qū)向出氣口再由前級泵抽除。

  24、油擴散真空泵

  擴散泵噴口中噴出高速蒸汽流。在分子流條件下,氣體分子不斷地向蒸流中擴散,并被蒸汽帶向泵出口處逐級被壓縮后再由前級泵排除。

  25、低溫真空泵

  利用20K以下的低溫表面凝聚吸附氣體的真空泵。

  26、冷阱(水冷擋板)

  置于真空容器和泵之間,用于吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置。

  27、氣鎮(zhèn)閥

  油封機械真空泵的壓縮室上開一小孔,并裝上調(diào)節(jié)閥,當打開閥并調(diào)節(jié)入氣量,轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)到某一位置,空氣就通過此孔摻入壓縮室以降低壓縮比,從而使大部分蒸汽不致凝結(jié)而和摻入的氣體一起被排除泵外起此作用的閥門稱為氣鎮(zhèn)閥。

  28、真空冷凍干燥

  真空冷凍干燥,也稱升華干燥。其原理是將材料冷凍,使其含有的水份變成冰塊,然后在真空下使冰升華而達到干燥目的。

  29、真空蒸鍍

  在真空環(huán)境中,將材料加熱并鍍到基片上稱為真空蒸鍍,或叫真空鍍膜。

  30、真空干燥

  利用真空環(huán)境下沸點低的特點來干燥物品的方法。

  31、真空系統(tǒng)常用名稱

  (1)主泵:在真空系統(tǒng)中,用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵,如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。

  (2)前級泵:用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。

  (3)粗抽泵:從大氣壓下開始抽氣,并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵,就是粗油泵。

  (4)維持泵:在真空系統(tǒng)中,氣量很小時,不能有效地利用前級泵。為此配置一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作,此泵叫維持泵。如擴散泵出口處配一臺小型旋片泵,就是維持泵。

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